8.0nm X射线激光反射镜Mo/B4C多层膜制备及其特性

• 作者: 吕俊霞 曹健林 沈长斌 裴舒 陈星旦 马月英
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 软X射线 Mo/B4C多层膜 磁控溅射法
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 343-345
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.015

摘要

用磁控溅射法制备工作波长约8.0 nm的Mo/B4C多层膜作为正入射短波长(λ＜10.0 nm)软X射线激光反射腔的反射镜.经X射线衍射仪和TEM检测,多层膜周期结构准确,热稳定性高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈星旦	中国科学院长春光学精密机械研究所	36	1163	23.0	34.0
2	沈长斌		9	99	6.0	9.0
3	曹健林	中国科学院长春光学精密机械研究所	37	328	10.0	17.0
4	吕俊霞	中国科学院长春光学精密机械研究所	3	8	1.0	2.0
5	马月英	中国科学院长春光学精密机械研究所	13	75	5.0	8.0
6	裴舒	中国科学院长春光学精密机械研究所	12	112	6.0	10.0