10—^10Pa测射离子泵的研制

• 作者: 仇华兴 孙仁君
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射离子泵 极限真空度 抽气速度 真空泵
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TB752

摘要

本文介绍10－^10Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空度和抽气速率的方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	仇华兴		1	0	0.0	0.0
2	孙仁君		1	0	0.0	0.0