微纳米加工表面和表层的完整性评价

• 作者: 李成贵 董申
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面完整性 纳米加工 扫描探针显微镜(SPM)
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 56-60,69
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 2913字
• 语种: 中文

摘要

对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了实验研究,证明了这些手段和评价方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	李成贵	北京航空航天大学自动化学院测控系	91	890	16.0	25.0