液晶光阀的光吸收层吸收系数的研究

• 作者: 钱祥忠
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 液晶光阀 光吸收层 光吸收系数 a-C∶H薄膜 射频-等离子体化学汽相沉积
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 204-206
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.03.015

摘要

用射频-等离子体化学汽相沉积法，在硼玻璃基片上淀积了厚为1.8μm的a-C∶H光吸收层，实验证明这种光吸收层的吸收系数受工艺条件的影响。测得在最佳工艺条件下，该吸收层对红光、绿光和蓝光的吸收系数分别为3.4×104，5.4×104和9.8×104cm-1。讨论了典型的液晶光阀投影机对吸收层光吸收系数的要求。