大口径镀膜机膜厚均匀性分析

• 作者: 张云洞 潘栋梁 熊胜明 王任华
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 均匀性 计算
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 镀膜技术
• 页码范围: 33-38
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 3377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2001.01.009

摘要

以2.2m镀膜机为例分析大口径镀膜机膜厚分布 情况,考虑旋转球面的情况,建立平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型,给出计算 结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘栋梁	中科院光电技术研究所	1	21	1.0	1.0
2	熊胜明	中科院光电技术研究所	1	21	1.0	1.0
3	张云洞	中科院光电技术研究所	1	21	1.0	1.0
4	王任华	中科院光电技术研究所	1	21	1.0	1.0