大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正

• 作者: 熊胜明 王长军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光学元件 薄膜 均匀性 修正板 修正
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1153-1157
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 1890字
• 语种: 中文

摘要

研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况.对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性.从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果.口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内.镀制了口径在400～1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊胜明	中国科学院光电技术研究所	44	353	11.0	16.0
2	王长军	中国科学院光电技术研究所	4	27	3.0	4.0