等离子体技术在材料中的应用

• 作者: 刘静 陈大凯
• 来源期刊: 武汉科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 材料 表面改性
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 345-348
• 页数: 4页
• 分类号: TG178
• 字数: 3548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-3644.2001.04.005

摘要

简述等离子体的物理概念及其获得方法.重点介绍等离子体技术在材料领域中的表面改性,并论述了PCVD法涂Si的原理及动力学和热力学问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈大凯		1	12	1.0	1.0
2	刘静		1	12	1.0	1.0