采用超紫外线技术制造计算机芯片的原型机问世

• 来源期刊: 国外科技动态
• 学科: 工学
• 关键词: 超紫外线技术 计算机芯片 制造设备 原型机
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 页码范围: 41
• 页数: 1页
• 分类号: TN492

摘要

英特尔、IBM和摩托罗拉公司与美国3个国家实验室合作，最近推出划时代的超紫外线光刻芯片制造设备。