锁相放大技术在等离子腐蚀监测过程中的应用

• 作者: 张寒明 李明秋
• 来源期刊: 长春光学精密机械学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锁相放大器 开关电容滤波器
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN911
• 字数: 1088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2001.02.010

摘要

本文介绍了锁相放大技术在等离子腐蚀过程中的应用,详细的论述了锁相放大器的设计过程,并对锁相放大器的性能进行了测试,结果表明,应用锁相放大技术进行终点监测过程中的弱信号提取,有效而可靠,提高了监测的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李明秋		2	5	1.0	2.0
2	张寒明	吉林省教育学院职教部	13	40	3.0	6.0