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摘要:
本文介绍了在大尺寸测量情况下,利用半导体激光光纤和位相板衍射技术进行准直的原理和方法,理论上分析了高斯光束通过位相板后衍射光场的特点,提出并分析了影响该原理精度的因素,从理论上分析并用计算机仿真验证了该原理在大尺寸形位误差测量中的可行性.
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文献信息
篇名 位相板衍射准直研究
来源期刊 计量学报 学科 工学
关键词 位相板 衍射图样 准直
年,卷(期) 2001,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 185-188
页数 4页 分类号 TB92
字数 2612字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-1158.2001.03.007
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郝群 北京理工大学光电工程系 90 760 14.0 24.0
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节点文献
位相板
衍射图样
准直
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1980
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