一种位相光栅激光衍射干涉场的研究

• 作者: 王彦 赵光兴
• 来源期刊: 安徽工业大学学报（自然科学版）
• 关键词: 位相光栅 衍射 干涉场
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7872.2002.01.007

摘要

基于单缝衍射理论 , 对位相光栅基片的上表面反射方向的衍射干涉场的分布规律进行了研究 , 提出了基于此分布规律对位相光栅的刻蚀深度进行实时检测的新方法 .

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵光兴	安徽工业大学电气信息学院	43	176	8.0	11.0
2	王彦	安徽工业大学电气信息学院	36	145	7.0	11.0