电容式测压微传感器的特性分析

• 作者: 冯勇建 许金海 邓俊泳
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 电容式 特性分析
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 434-436，440
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 2306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.04.029

摘要

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析.文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性.通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析,建立了传感器的力学模型.分析的结果表明:传感器敏感元件和电容器的物理特性是影响传感器输出响应线性的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	许金海	厦门大学机电工程系	6	38	4.0	6.0
3	邓俊泳	厦门大学机电工程系	5	148	4.0	5.0