FED器件的支撑结构设计和实现

• 作者: 于宏宇 刘珩 罗淑云 葛常锋
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 场致发射显示器 支撑墙 有限元分析
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TN102
• 字数: 2646字
• 语种: 中文

摘要

使用墙式结构作为FED器件内的支撑,使用Algor专用力学有限元软件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算,同时参照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度、安装位置和装配误差等工艺参数,并完成了现有器件条件下的工艺实现,得到理想的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗淑云	清华大学电子工程系	13	79	5.0	8.0
2	于宏宇	清华大学电子工程系	4	9	2.0	2.0
3	刘珩	清华大学电子工程系	3	8	2.0	2.0
4	葛常锋	清华大学电子工程系	3	7	2.0	2.0