燃烧化学沉积纳米α-Al2O3薄膜及晶化处理

• 作者: 付跃文 周有强 张增志
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米陶瓷 燃烧化学 沉积技术 α-Al2O3
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1259-1261
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.040

摘要

提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张增志	中国矿业大学北京校区	33	210	7.0	14.0
2	付跃文	中国矿业大学北京校区	5	120	4.0	5.0
3	周有强	中国矿业大学北京校区	2	7	2.0	2.0