温度对离子注入Ti6Al4V表面改性影响

• 作者: 唐德礼 童洪辉 耿漫 莫志涛 赵青 郑永真
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 Ti6Al4V合金 表面改性
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2001.04.011

摘要

对Ti6Al4V 合金进行温度范围从100 ℃到600 ℃,注入剂量为:4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII).用俄歇电子能谱仪(AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析.用显微硬度及针盘磨损试验机测试表面改性的效果.利用X 射线衍射(XRD)分析表面改性层晶相的变化.用光学显微镜观察磨痕宽度.分析发现,当温度从 100 ℃升到600 ℃时,注入层厚度明显增加.其中,高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性.XRD分析发现,随温度升高注入层表面形成TiN和Ti2N析出相.