同轴射频激励CO2激光器的热效应研究

• 作者: 李再光 王又青 陈清明
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同轴RF激励 CO2激光器 热效应
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TN24
• 字数: 3358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2001.01.006

摘要

通过求解放电等离子体中的带电粒子密度和能量的平衡方程、电流连续性方程以及热传导方程，研究了同轴射频（RF）激励CO2激光器中放电混合气体的温度效应，分析了有关放电参数对温度分布的影响。