白光干涉的谱分析及其数据处理

• 作者: 史庆军 常久伟 徐菌
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉谱 薄膜 数据分析
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 光谱分析
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: O433.4-37
• 字数: 1123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2001.06.008

摘要

通过分析白光干涉谱,计算出生长在GaAs衬底上的氮化镓薄膜厚度.重点介绍干涉谱包含的信息及数据分析方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史庆军		29	96	5.0	8.0
2	常久伟		1	15	1.0	1.0
3	徐菌		1	15	1.0	1.0