不锈钢上PVD Ag-Cu/Ti双层膜力学性能研究

• 作者: 李重庵 石宗利 黄元林
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 气相沉积 双层膜 结合强度 力学性能
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 34-35,39
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2001.04.010

摘要

研究了不锈钢上PVD Ag-Cu/Ti双层金属薄膜的力学性能,包括薄膜结合强度、弹性模量、复合硬度及残余应力.结果表明,该双层膜膜基结合良好;用4点弯曲法测得其弹性模量为63.4 GPa;薄膜复合硬度表现出异常的负荷依存性;用X射线法测得双层膜膜内应力为张应力,大小为160 MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石宗利		21	282	10.0	16.0
2	李重庵		15	249	9.0	15.0