Fe-Cr-Al电热合金表面原位绝缘膜的生长动力学问题

• 作者: 胡平 蒙继龙 黄文波
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 电热合金 绝缘膜 Al2O3
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2001.04.005

摘要

试验了利用气相反应法在Fe-Cr-Al电热合金表面原位生成绝缘膜的可能性.获得了主要由α-Al2O3相组成的绝缘膜层,膜的生长符合抛物线规律,抛物线速率常数随反应气氛中氧分压的增高而增大,Al2O3绝缘膜的微观形貌也与氧分压的大小有关.另外对绝缘膜的击穿性能进行了测试.