MOS霍尔传感器阵列

• 作者: 李德胜 藤田博之 黄操军
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 霍尔器件 传感器阵列
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TP21
• 字数: 1572字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新颖的磁性传感器阵列,它由制作在硅板上的MOS霍尔器件和控制单元构成.文中详述了该传感器的工作原理、制造工艺及测试结果.实验结果表明该传感器是一种高灵敏度、有实用潜力的器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德胜	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	25	339	8.0	17.0
2	黄操军	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	3	19	2.0	3.0
3	藤田博之		1	14	1.0	1.0