硅的微观硬度测试研究

• 作者: 孟永钢 温诗铸 黎明
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米硬度 微机械 材料力学行为
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺·设备·材料
• 页码范围: 886-887，896
• 页数: 3页
• 分类号: TG115
• 字数: 2813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2001.06.034

摘要

对微机械而言,不仅微观环境对其工作性能有所影响,而且微构件本身的力学性能也直接影响到微机械的服役寿命和工作性能.在微小尺度下,材料的微观力学性能与宏观力学性能之间有很大的差别,如何测试其力学性能参数,如弹性模量和表面硬度等,就成为微机械设计的关键和保证其可靠运行的基础.本文介绍了纳米硬度计的工作原理和微小尺度下材料的弹性模量和硬度的计算方法,并对微构件制备中最常用的材料硅的微观力学特性进行了初步测试.试验结果表明:硅在微小载荷下表现出了很好的力学性能,其表面硬度随压入深度的增大而减小,并逐渐趋近硅的宏观硬度值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温诗铸	清华大学精密仪器系	156	3364	28.0	50.0
2	孟永钢	清华大学精密仪器系	94	907	17.0	24.0
3	黎明	清华大学精密仪器系	6	283	4.0	6.0