BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究

• 作者: 伊福廷 张菊芳 彭良强 韩勇
• 来源期刊: 高能物理与核物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 同步辐射深度光刻 超深结构 高深宽比
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: LIGA
• 页码范围: 128-130
• 页数: 3页
• 分类号: O57
• 字数: 1804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3052.2001.z1.026

摘要

大结构深度和高深宽比是同步辐射深度光刻的突出优点.提出采用现有掩模,进行多次曝光、显影的方法,实验获得厚2.2mm的胶结构.系列研究掩模、光刻胶、基底、光谱和光强对深宽比的影响,实验获得深宽比104的胶结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
2	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
3	韩勇	中国科学院高能物理研究所	67	1000	16.0	30.0
4	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0