室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究

• 作者: 俞梅 吴小晔 孙学珠 张福海 李华伟 牛文成 谢建湘 那兴波 陈兴梧
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复合悬浮栅场效应管 功函数 双敏感膜 臭氧传感器
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 604-606
• 页数: 3页
• 分类号: TN379
• 字数: 2282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2001.05.007

摘要

本文研究室温下工作，具有双敏感膜，检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET（Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor即HSGFET）型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果，发现具有［KI/A/LaF3］结构的传感器对O3有很好的响应特性；实验结果与由开尔芬（Kelvin）探针得到的结果进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息技术科学学院	48	515	11.0	21.0
2	陈兴梧	天津大学精密仪器与光电子工程学院	23	230	6.0	15.0
3	俞梅	南开大学信息技术科学学院	11	30	4.0	5.0
4	李华伟	南开大学信息技术科学学院	10	15	3.0	3.0
5	张福海	南开大学信息技术科学学院	17	37	4.0	5.0
6	孙学珠	天津大学精密仪器与光电子工程学院	8	40	4.0	6.0
7	那兴波	南开大学信息技术科学学院	7	20	3.0	3.0
8	吴小晔	南开大学信息技术科学学院	2	8	2.0	2.0
9	谢建湘	南开大学信息技术科学学院	4	13	3.0	3.0