基于PC机控制的电子束图形控制器

• 作者: 张玉林 张玲
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 图形发生器 计算机控制
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2705字
• 语种: 中文

摘要

介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学南区	56	465	11.0	19.0
2	张玲	山东大学南区	42	460	10.0	20.0