超高灵敏度硅压敏微流量计

• 作者: 贾正根
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 硅敏感器 超灵敏度微流量计 硅流量计
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 2509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2001.02.003

摘要

本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量.它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简单,电容压敏器为厚度2.9μm的应力补偿隔片,司工作在1mtorr～700torr范围内,量程为3±10-8～10-3SCCM.