基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置

• 作者: 刘国栋 浦昭邦 赵辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度 测量 双频激光 直尺 反转
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 637-640
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2001.07.016

摘要

提出一种高精度直线度基准装置，它以激光波长作为测量基准，采用双频激光干涉技术和直尺反转误差分离技术，在一般实验室条件下实现了优于0.1 μm/m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国防校准实验室。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	108	1776	24.0	36.0
2	赵辉	上海交通大学电子信息学院仪器系	105	1032	17.0	29.0
3	刘国栋	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	79	1002	15.0	28.0