金属化薄膜电容器赋能机理分析与新型分切赋能装置的研制

• 作者: 于凌宇 翟光亚
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: 金属化薄膜 赋能 分切
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 质量设计专家
• 页码范围: 70-71
• 页数: 2页
• 分类号: TM53
• 字数: 1568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2001.05.017

摘要

扼要探讨了在金属化有机薄膜电容器工艺流程中,分切金属化有机薄膜时进行赋能的机理及必要性,并具体分析了具有创新特色的分切赋能装置的工作原理、使用方法与提高薄膜电容器质量的可靠性效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于凌宇		21	30	4.0	5.0
2	翟光亚		2	8	1.0	2.0