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<光机电信息>
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摘要：
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抗干扰微光机电麦克风
微光机电
MEMS
F-P腔
光机电一体化技术的发展方向探讨
光机电一体化
机械技术
计算机技术
微电子技术
光机电一体化产品的可靠性预计
失效率
平均故障间隔时间
工作寿命
可靠性预计
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究
光栅刻划机
光机电集成优化
计算傅里叶光学
智能优化
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期刊影响力
光学精密工程
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-924X
CN：
22-1198/TH
开本：
大16开
出版地：
长春市东南湖大路3888号
邮发代号：
12-166
创刊时间：
1959
语种：
chi
出版文献量（篇）
6867
总下载数（次）
10
总被引数（次）
98767
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