光瞳相移滤波器的模拟退火优化设计研究

• 作者: 康西巧 石建平 罗先刚 陈旭南
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 相移滤波器 模拟退火算法 优化滤波器光刻分辨力和焦深
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 页码范围: 1308-1309
• 页数: 2页
• 分类号: TN205
• 语种: 中文

摘要

研究光瞳相移滤波器的模拟退火优化设计,制定算法规则,给出算法模型,用VC++等混合编程.模拟和完成的实验结果表明,用模拟退火优化滤波器可进一步提高投影成像系统的光刻分辨力和焦深.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭南	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	39	212	9.0	13.0
2	石建平	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	19	73	5.0	8.0
3	罗先刚	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	52	315	9.0	15.0
4	康西巧	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	6	11	2.0	3.0