一种提高极值法监控精度的方法

• 作者: 张晓晖 朱伟民 杨光 汤炜 陈清明
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜淀积 极值监控法 膜厚监控精度 过正控制量
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 386-389
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2001.05.003

摘要

提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法.该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值.这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨光		50	460	11.0	20.0
2	陈清明		16	155	6.0	12.0
3	张晓晖		13	68	5.0	7.0
4	朱伟民		1	18	1.0	1.0
5	汤炜		1	18	1.0	1.0