采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计

• 作者: 任天令 刘燕翔 刘理天
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 射频滤波器 谐振器 锆钛酸铅 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 2683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.01.001

摘要

在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上，结合锆钛酸铅薄膜的材料特性，提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响，模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性，探讨了薄膜材料的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	刘燕翔	清华大学微电子学研究所	5	88	5.0	5.0