MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

• 作者: 余同希 孙克豪 张立宪 赵亚溥 钱劲
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 计算机辅助设计 模拟 数据库
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的设计与数值模拟
• 页码范围: 488-494
• 页数: 7页
• 分类号: TP39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.020

摘要

概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围.并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵亚溥	中国科学院力学研究所	25	551	10.0	23.0
2	余同希	香港科技大学机械工程系	22	337	12.0	18.0
3	钱劲	中国科学院力学研究所	3	137	2.0	3.0
4	张立宪	中国科学院力学研究所	2	37	2.0	2.0