采用金属有机化合物热分解法研制锆钛酸铅薄膜

• 作者: 刘如净 刘志刚 张之圣
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 金属有机化合物 锆钛酸铅 热处理
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TB553
• 字数: 3974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.01.013

摘要

详细研究了采用金属有机化合物热分解法制备锆钛酸铅Pb（Zr0.53Ti0.47）O3铁电薄膜的工艺，讨论了影响PZT薄膜相结构的因素。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志刚	天津大学电信工程学院	38	320	9.0	16.0
2	张之圣	天津大学电信工程学院	57	580	15.0	21.0
3	刘如净	天津大学电信工程学院	4	34	3.0	4.0