复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试

• 作者: 吴小清 姚熹 王三红
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 红外探测器 复合热释电薄膜 溶胶-凝胶 电压响应率 星探测率
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 146-148
• 页数: 3页
• 分类号: TN21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2001.02.009

摘要

为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题，引入了复合热释电薄膜的概念．它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点，有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散．利用溶胶-凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器，在温度为420K、频率为10Hz时，电压响应率约为1400V／W，探测器的星探测率D（420，10，2）为9.3×107cm.Hz1／2／W．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子与信息工程学院	172	1611	18.0	30.0
2	吴小清	西安交通大学电子与信息工程学院	18	216	8.0	14.0
3	王三红	西安交通大学电子与信息工程学院	3	17	2.0	3.0