锆钛酸铅铁电薄膜的制备及在红外探测器中的应用

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 热释电探测器 敏感元 光刻 剥离
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 基金资助项目
• 页码范围: 388-391
• 页数: 4页
• 分类号: TM221|O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9432.2004.04.003

摘要

研究了敏感元材料锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的制备、结构和性能,并采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.该研究为铁电薄膜在热释电红外探测器中的应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	西安交通大学电子材料研究所	3	31	3.0	3.0