MEMS技术的现状和发展趋势

• 作者: 亢春梅 刘光辉
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 传感器 执行器 发展现状和趋势
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS专题
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TN40
• 字数: 5860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.01.020

摘要

MEMS技术是一门新兴的技术，近年来，越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘光辉		2	244	2.0	2.0
2	亢春梅		4	264	4.0	4.0