免修整柔性金刚石砂轮的磨削性能研究

• 作者: 梁锡昌 郭隐彪 黄元庆
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 柔性砂轮 石英基板 高效磨削 误差分析
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 775-777
• 页数: 4页
• 分类号: TG58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2001.07.014

摘要

针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题，提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响，达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件，解决了集成电路基板高效磨削的问题。通过和树脂砂轮的对比实验表明，柔性砂轮对石英基板具有良好的磨削性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁锡昌		72	985	16.0	29.0
2	郭隐彪		115	781	14.0	20.0
3	黄元庆		96	1047	17.0	29.0