微电机扭矩测试装置

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微电机扭矩测试装置

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微电机

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文献信息

篇名	微电机扭矩测试装置
来源期刊	科技开发动态	学科	工学
关键词	微电机扭矩测试装置 MEMS
年，卷（期）	2001,（10）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	45
页数	1页	分类号	TM38
字数		语种	中文
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