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文献信息
| 篇名 | 制备薄膜装置中用的金属平板加热器 | ||
| 来源期刊 | 科技开发动态 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 薄膜装置 金属平板加热器 制备方法 加热板 抗机械冲击力 | ||
| 年，卷（期） | kjkfdt,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 46 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TB42 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
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薄膜装置
金属平板加热器
制备方法
加热板
抗机械冲击力
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
科技开发动态
主办单位：
中国科学院文献情报中心
出版周期：
双月刊
ISSN：
1003-014X
CN：
CN 11-2681/N
开本：
出版地：
北京市中关村北四环西路33号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
5181
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