0913 真空蒸发、淀积、溅射、氧化与金属化工艺

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助沉积 真空磁过滤弧源沉积 真空蒸发 薄膜合成 金属化工艺 离子注入 功能材料 中国科学院 开放研究实验室 薄膜生长
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 0118519离子束薄膜合成及其应用[刊]/柳襄怀//功能材料与器件学报.—2001,17(2).—113～115(E)报道了中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长,以及离子注入 SOI 材料合成的方法及其物理过程,同时也对离子束合成薄膜在工业及国防上的应用进行了探讨。参17