LIGA技术制作微反应器的研究

• 作者: 刘刚 张新夷 田扬超
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微反应器 微管道 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 2024字
• 语种: 中文

摘要

介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
2	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
3	张新夷	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	35	151	8.0	11.0