潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用

• 作者: 刘铁 唐平瀛 戴晶怡 谈效华 金大志
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 潘宁放电 密封电真空器件 真空度
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 高功率微波
• 页码范围: 453-455
• 页数: 3页
• 分类号: TB771
• 字数: 1542字
• 语种: 中文

摘要

密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真 空度,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法.分析了利用潘宁放电来测量两个电 极的密封电真空器件真空度的工作原理,设计了测试实验装置,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型,给出了有关实验数据.