洁净室散发的VOC的特性与测量

• 作者: 刘学营 周志华 周文忠 涂光备
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净室 人体 结构材料 有机挥发物 特性 测量
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: TU1
• 字数: 2854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2002.02.001

摘要

现代半导体洁净室中,生产过程所产生的有机挥发物(VOC)已成为影响产品品质的关键问题之一.本文对洁净室里VOC的来源进行了分析,并对人体和洁净室结构材料产生的VOC的特性和测量方法进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂光备	天津大学环境学院	169	2436	27.0	40.0
2	周志华	天津大学环境学院	36	243	8.0	14.0
3	周文忠	天津大学环境学院	3	27	2.0	3.0
4	刘学营		1	2	1.0	1.0