用非接触光探针平整度仪对液晶器件的研究

• 作者: 孙玉宝 章红林 范志新
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非接触 光探针 平整度 液晶显示器
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 光学技术
• 页码范围: 863-866
• 页数: 4页
• 分类号: TN247∶TN873
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2002.07.021

摘要

介绍一种具有纳米级测量灵敏度的非接触光探针平整度测试仪,其分辨率优于1 nm.这种测试仪在电子玻璃、半导体、集成电路、薄膜和纳米技术等领域都有很大的应用前景.给出了该测试仪在液晶显示器件基板表面形状研究方面的一些应用的实验测试数据结果,表明该测试仪可以在液晶显示器件研究中发挥作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范志新	河北工业大学应用物理系	80	693	13.0	23.0
2	孙玉宝	河北工业大学应用物理系	49	133	6.0	8.0
3	章红林		2	10	1.0	2.0