用于等电子谱线法诊断电子温度的Mg/Si混合膜制备工艺研究

• 作者: 吴卫东 唐晓虹 唐永建 许华 陈志梅 黄勇
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 电子温度 磁控溅射 复合靶 镁硅混合膜
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 371-373
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.022

摘要

进行了在单靶头磁控溅射装置上采用复合靶溅射制备Mg/Si混合膜的工艺研究,制备出了不同组分的Mg/Si混合膜,并利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、透射电镜(TEM)等测试手段,对混合膜的结构进行了初步分析.分析结果表明:Mg/Si混合膜中的镁以单取向多晶形式存在,硅以非晶形式弥散在镁的晶粒之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室	140	1087	18.0	26.0
2	黄勇	中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室	38	270	9.0	15.0
3	许华	中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室	23	287	9.0	16.0
4	陈志梅	中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室	11	23	3.0	3.0
5	唐晓虹	中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室	3	12	3.0	3.0