压电微马达研究进展

• 作者: 李龙土 董蜀湘 褚祥诚 阎立
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微马达 微驱动器 压电陶瓷 超声马达
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 116-121
• 页数: 6页
• 分类号: TM282
• 字数: 2978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.02.009

摘要

利用网络和图书馆对国际上1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研.分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明,最后给出了本实验室研制的压电陶瓷行波微马达的运动机理.