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摘要:
本文提出在弹性元件表面用微波ECR溅射TiN薄膜实现电力设备的液位高精度变送的技术.由于TiN薄膜优异的机械特性, 加之对敏感元件进行了二元线性插值法进行智能补偿,实现了液位测量的快响应和高精度.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 电力设备中液位高精度变送技术的研究
来源期刊 电工电能新技术 学科 工学
关键词 电力设备 ECR等离子体 液位传感 智能补偿
年,卷(期) 2002,(2) 所属期刊栏目 论文报告
研究方向 页码范围 38-41
页数 4页 分类号 TM762
字数 1392字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-3076.2002.02.010
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵龙章 7 4 1.0 1.0
2 梁荣庆 中国科学院等离子体研究所 14 119 7.0 10.0
传播情况
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引文网络
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2011(1)
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研究主题发展历程
节点文献
电力设备
ECR等离子体
液位传感
智能补偿
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电工电能新技术
月刊
1003-3076
11-2283/TM
大16开
北京中关村北二条6号(北京2703信箱)
82-364
1982
chi
出版文献量(篇)
2157
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8
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