高精直线滑台的设计和控制

• 作者: 吴希让 王彦峰
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 高精运动 摩擦传动 内模控制 数字控制
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TG5
• 字数: 5074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-962X.2002.01.008

摘要

高精机床需要高精滑台.文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计.该工作台用钢制造,质量为100kg,用三个静压轴承全浮动支承.工作运动度220mm,具有甚高的刚性.该滑台使用磨擦传动致动器,直线轴向最大平移速度10mm/s.使用闭环伺服控制,使用模控制器(IMC),自动补偿未建模的机械性能.也可使用比例积分微分控制器(PIDC)对直线滑台进行控制.控制方法中测量时使用激光干涉仪和光学直线编码器,保证使滑台得到甚高的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴希让		29	89	6.0	9.0
2	王彦峰		6	17	3.0	4.0