应用于高热流冷却的微通道实验装置的研究

• 作者: 彭书志 逖来科
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 实验装置 微通道 惠普5529A动态校准仪 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 186-190
• 页数: 5页
• 分类号: TH821
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2002.03.008

摘要

本文详细介绍了微通道热沉实验装置的发展状态.建成了一个具有多功能、低不确定度、高精度温度控制的实验装置,用于模拟微通道热沉的实际热流状态和分析其热传导特性.最终测试实验借助于HP5529A动态校准仪在恒温室中完成.测试结果表明,这个装置不仅有高的冷却效果,而且能满足微电子机械和纳米技术所需要的高精度温度的要求.