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摘要:
借助于基片下方放置的磁铁,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场.辉光放电时,其外貌发生了显著的收缩,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.
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梯度表面能材料表面
液滴运动
系统自由能
薄膜润滑
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 梯度磁场中薄膜厚度梯度的形成机理
来源期刊 浙江大学学报(理学版) 学科 物理学
关键词 磁场梯度 磁镜 磁控溅射 辉光 厚度梯度
年,卷(期) 2002,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 395-399
页数 5页 分类号 O484
字数 2411字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1008-9497.2002.04.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱炎 苏州大学物理系 9 68 4.0 8.0
2 赵登涛 苏州大学物理系 7 43 4.0 6.0
3 狄国庆 苏州大学物理系 18 135 7.0 11.0
4 陈亚杰 苏州大学物理系 10 68 4.0 8.0
传播情况
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2015(1)
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2016(1)
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  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
磁场梯度
磁镜
磁控溅射
辉光
厚度梯度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
浙江大学学报(理学版)
双月刊
1008-9497
33-1246/N
大16开
杭州市天目山路148号浙江大学
32-36
1956
chi
出版文献量(篇)
3051
总下载数(次)
2
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