梯度磁场中薄膜厚度梯度的形成机理

• 作者: 朱炎 狄国庆 赵登涛 陈亚杰
• 来源期刊: 浙江大学学报(理学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁场梯度 磁镜 磁控溅射 辉光 厚度梯度
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 395-399
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1008-9497.2002.04.008

摘要

借助于基片下方放置的磁铁,在溅射的放电空间中引入了纵向的梯度磁场.辉光放电时,其外貌发生了显著的收缩,由此沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱炎	苏州大学物理系	9	68	4.0	8.0
2	赵登涛	苏州大学物理系	7	43	4.0	6.0
3	狄国庆	苏州大学物理系	18	135	7.0	11.0
4	陈亚杰	苏州大学物理系	10	68	4.0	8.0